面向先进制程的精密气体流量控制
PS500系列面向先进半导体制造工艺中的精密气体流量控制需求而设计，适用于对流量稳定性、响应速度和控制精度要求较高的工艺环境。设备通过检测层流元件两端的压差信号，实现宽量程 范围内的高灵敏度流量测量。入口采用低死体积压电式金属隔膜阀，可快速调节流量，并降低供气压力波动对工艺流量的影响。系统基于实际工艺气体标定数据建立气体特性数据库，并结合温度、压力及层流元件压差等参数，对质量流 量进行实时计算。控制系统以 2ms 周期驱动压电阀，实现快速响应、精细调节与高分辨率控制。
三维气体特性数据库
PS500系列通过优化层流微通道结构，提升对不同工艺气体及多种压力条件的适应能力。系统以实际测试数据为基础，对不同压力、温度条件下的流量特性进行建模，形成三维气体特性数据库。当温度或出口压力发生变化时，系统可调用数据库中 的气体特性数据进行补偿计算，保持稳定的测量精度与流量控制性能。基于 PS500系列的测量原理，流量与入口压力之间呈非线性关系。在相同压力测量误差条件下，低流量区间的流量偏差更易控制，因此 PS500系列在小流量测量场景中具备更好的精度表现。该测量方法基于层流状态下的泊肃叶方程，可为不同工况下的流量测量与控制提供稳定的数据基础。
结构组成与工作原理
PS500系列主要由过滤器、控制阀、限流器、压力传感器和温度传感器等部件组成。工作过程中，系统采集限流器前后的压力变化及温度参数，实时计算气体流量，并根据测量结果动态调节控制阀，使实际输出流量稳定在设定范围内。
快速响应
PS500系列响应时间≤1s，可快速适应工艺气体输送条件变 化。在全量程范围内，系统兼顾瞬态响应与稳态精度，响应性能可达到先进沉积、蚀刻等工艺对流量快速调节的要求。
