关键词:Hfo2, 铪基铁电,铁电薄膜，疲劳，电滞回线
一、产品介绍：
HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪是一款高量程款的铁电性能材料测试装置，这款设备可以适用于铁电薄膜、铁电体材料（既可块体材料）的电性能测量，可测量铁电薄膜电滞回线、可测出具有非对称电滞回线铁电薄膜值。可以进行电致应变测试，可以蝴蝶曲线功能，设备还可以扩展高温电阻，高温介电，电容-电压曲线，TSC/TSDC等功能。铁电材料的大规模应用源自钙钛矿结构钛酸钡铁电体的发现，直到今日钙钛矿铁电体仍然是无机铁电体中的主流。然而，在微纳电子应用中，与 CMOS 工艺更兼容的铪基铁电薄膜逐渐成为研究热点。本仪器是从事压电材料及压电元件生产、应用与研究部门的重要设备之一，已经在各大高校和科研院所广泛使用。
二、氧化铪铁电材料的崛起
传统的钙钛矿类铁电材料由于尺寸难以进一步缩小，已经难以满足现代集成电路对高密度与高集成度的需求。而氧化铪（HfO?）基铁电材料凭借其卓越的微缩能力和与现有CMOS工艺的兼容性，成为近年来铁电研究的热点材料。氧化铪材料的出现标志着铁电材料从传统迈向现代，开启了存储器应用的新纪元。
主要功能：
■高存储密度：单个存储单元由一个晶体管构成，可实现高密度集成；
■低功耗：极化翻转所需能量低于传统存储器；
■高速性：操作速度小于20纳秒，适合实时性要求高的应用场景；
■非破坏性读取：避免数据读取过程中对存储状态的破坏，提高整体存储效率。
二、主要技术指标：
1、输出信号电压：：±100 V可扩展电致应蝴蝶曲线功能
2、温度；室温-200℃，控温精度：±1℃
3、控制施加频率0.01到1KHz（陶瓷、单晶，薄膜）PC端软件控制自定义设置；
4、控制输出电流0到±50mA连续可调，PC端软件控制自定义设置。
5、动态电滞回线测试频率范围 0.01Hz-1kHz
7、最小脉宽保持时间为20us;最小上升沿时间为10us;
8、疲劳测试频率500kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；
9、测试速度：测量时间《5秒/样品?温度点
10、样品规格：块体材料尺寸：直径2-100mm，厚度0.1-10mm
11、主要功能： 动态电滞回线DHM，静态电滞回线SHM，I-V特性，脉冲PUND，疲劳Fatigue，电击穿强度BDM，漏电流LM，电流-偏压，保持力RM，
10. 电荷解析度不小于10 mC;
漏电流测量范围:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;
12、控制方式：计算机实时控制、实时显示、实时数据计算、分析与存储
13、软件采集：自动采集软件，分析可以兼容其他相关主流软件。
14、测试精度：±0.05%
15、内置电压：±20V
16、可增模块：
印迹印痕IM
变温测试THM
POM 模块实现极化测量功能
CVM模块实现小信号电容测试，获得C-V曲线
PZM模块实现压电特性测试
DPM模块测试介电性能
RTM模块测试电阻/电阻率性能
CCDM模块实现电容充放电测试。
17、探针台(选配)：
美国TF-2000测试数据对比图
